Chuẩn bị và cấu trúc Tantan(V)_fluoride

Nó được điều chế bằng cách xử lý kim loại tantan với khí flo.[1] NbF5 được điều chế tương tự.

TaF5 rắn và nóng chảy đều là tetramer, bao gồm bốn tâm TaF6 được liên kết thông qua các tâm fluoride bắc cầu. Khí TaF5 có cấu trúc hình chóp tam giác với nhóm đối xứng D3h.[2]